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张冬艳
作品数:
2
被引量:3
H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十八研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
陈特超
中国电子科技集团公司第四十八研...
伍波
中国电子科技集团公司第四十八研...
龚杰洪
中国电子科技集团公司第四十八研...
禹庆荣
中国电子科技集团公司第四十八研...
李键志
中国电子科技集团公司第四十八研...
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陈特超
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题:离子束 溅射 刻蚀 太阳能电池生产线 扩散炉
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供职机构
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李键志
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题:MEMS 反应离子 刻蚀 微电子机械系统 深反应离子刻蚀
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供职机构
所获资助
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伍波
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题:MEMS 反应离子 刻蚀 微电子机械系统 深反应离子刻蚀
发表作品
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供职机构
所获资助
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龚杰洪
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题:离子注入 SIC 加热器 线圈 温度曲线
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供职机构
所获资助
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禹庆荣
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题:太阳电池 扩散炉 PECVD 氮化硅 多晶硅太阳电池
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