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陈特超
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题:离子束 溅射 刻蚀 太阳能电池生产线 扩散炉
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李键志
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题:MEMS 反应离子 刻蚀 微电子机械系统 深反应离子刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
伍波
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题:MEMS 反应离子 刻蚀 微电子机械系统 深反应离子刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
龚杰洪
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题:离子注入 SIC 加热器 线圈 温度曲线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
禹庆荣
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题:太阳电池 扩散炉 PECVD 氮化硅 多晶硅太阳电池
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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