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张连清

作品数：7 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程更多>>

合作作者

领域

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主题

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机构

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资助

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传媒

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  • 2个材料研究学报

地区

  • 9个北京市
共 9 条 记 录，以下是 1-9
路新春
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何永勇
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 故障诊断 化学机械抛光 抛光液 旋转机械
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沈攀
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 修整器 化学机械抛光 机械手 修整
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
梅赫赓
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 刷洗 抛光液 毛刷 侧板
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许振杰
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 修整器 机械手 抛光液 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵德文
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 解析解 晶圆 基板 拉拔
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裴召辉
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 刷洗 毛刷 机械手 组件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
雒建斌
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王同庆
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 抛光液 CMP 抛光垫
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