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李晟
作品数:
17
被引量:53
H指数:2
供职机构:
清华大学
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
自动化与计算机技术
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电子电信
电气工程
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合作作者
李庆祥
清华大学机械工程学院精密仪器与...
李玉和
清华大学机械工程学院精密仪器与...
訾艳阳
清华大学
蒋培军
清华大学机械工程学院精密仪器与...
郭阳宽
清华大学机械工程学院精密仪器与...
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李庆祥
供职机构:清华大学机械工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室
研究主题:集成电路 柔性铰链 微装配 母盘 近场光存储
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李玉和
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:柔性铰链 微装配 近场光存储 深亚微米 刻录机
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訾艳阳
供职机构:西安交通大学
研究主题:故障诊断 特征提取 自适应 故障特征 旋转机械
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蒋培军
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:母盘刻录 光刻系统 阵列式 集成电路 电路图形
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郭阳宽
供职机构:北京信息科技大学
研究主题:关节式坐标测量机 流式细胞仪 关节式 液位 螺旋曲面
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齐国生
供职机构:清华大学
研究主题:光存储 光致变色 母盘刻录 集成电路 光刻系统
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钱坤
供职机构:清华大学
研究主题:母盘刻录 光刻系统 阵列式 集成电路 电路图形
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徐端颐
供职机构:清华大学
研究主题:光存储 光学头 光致变色 母盘 光致
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范晓东
供职机构:清华大学光盘国家工程研究中心
研究主题:母盘刻录 复消色差 光纤阵列 光纤 光刻
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研究领域
李赫雄
供职机构:清华大学
研究主题:光学头 光盘数据 只读光盘 倍频器 复消色差
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