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齐晶
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3
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供职机构:
浙江大学
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相关领域:
自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
林斌
浙江大学
罗凯升
浙江大学
史峥
浙江大学
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罗凯升
供职机构:浙江大学
研究主题:光学邻近校正 成品率 层次化结构 层次管理 参数初始化
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供职机构
所获资助
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史峥
供职机构:浙江大学电气工程学院超大规模集成电路设计研究所
研究主题:光学邻近校正 光刻 集成电路 成品率 版图
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供职机构
所获资助
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林斌
供职机构:浙江大学
研究主题:永磁同步电机 绕组电机 光学邻近校正 相机 电容电压
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