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刘彬

作品数：10 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>

合作作者

领域

  • 4个电子电信
  • 3个机械工程
  • 3个理学
  • 2个金属学及工艺
  • 2个电气工程
  • 2个自动化与计算...
  • 2个一般工业技术
  • 2个文化科学
  • 1个经济管理
  • 1个天文地球
  • 1个建筑科学
  • 1个轻工技术与工...
  • 1个交通运输工程
  • 1个环境科学与工...
  • 1个核科学技术
  • 1个医药卫生

主题

  • 4个单次
  • 4个掩膜
  • 3个氮化硅
  • 3个氮化硅薄膜
  • 3个电极
  • 3个电子束
  • 3个电子束抗蚀剂
  • 3个电子束曝光
  • 3个形貌
  • 3个掩模
  • 2个单晶
  • 2个单晶硅
  • 2个氮化物
  • 2个氮化镓
  • 2个倒装
  • 2个倒装芯片
  • 2个等离子体
  • 2个电绝缘
  • 2个对电极
  • 2个亚微米

机构

  • 4个中国科学院
  • 2个长春理工大学

资助

  • 2个国家自然科学...
  • 2个苏州市科技发...
  • 1个北京市自然科...
  • 1个国防科技重点...
  • 1个国家高技术研...
  • 1个国家重点基础...
  • 1个吉林省自然科...
  • 1个江苏省自然科...
  • 1个清华大学基础...
  • 1个中国博士后科...
  • 1个国家杰出青年...
  • 1个江苏省科技支...
  • 1个高功率半导体...
  • 1个国家电网公司...
  • 1个国家重点实验...
  • 1个江苏省博士后...
  • 1个江苏省基础研...
  • 1个江苏省科技计...
  • 1个教育部“新世...
  • 1个中国科学院“...

传媒

  • 2个光电子．激光
  • 2个物理学报
  • 2个应用光学
  • 2个固体电子学研...
  • 2个半导体光电
  • 2个第十三届全国...
  • 2个2013‘全...
  • 2个2010(第...
  • 1个红外与激光工...
  • 1个量子电子学报
  • 1个稀有金属材料...
  • 1个半导体技术
  • 1个Journa...
  • 1个光电子技术与...
  • 1个中国科学（A...
  • 1个光学技术
  • 1个中国激光
  • 1个光学学报
  • 1个红外与毫米波...
  • 1个光子学报

地区

  • 4个江苏省
共 4 条 记 录，以下是 1-4
时文华
供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题：刻蚀 掩膜 光刻版 刻蚀工艺 硅刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
付思齐
供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题：刻蚀 光刻版 湿法腐蚀 掩膜 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张宝顺
供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题：二维电子气 电极 HEMT器件 衬底 半导体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
侯克玉
供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题：MEMS器件 掩膜 光刻胶 光刻版 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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