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张莉瑶

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>

合作作者

领域

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主题

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机构

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资助

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传媒

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地区

  • 9个北京市
共 9 条 记 录，以下是 1-9
许振杰
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 修整器 机械手 抛光液 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
路新春
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
裴召辉
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 刷洗 毛刷 机械手 组件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭振宇
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 干燥装置 组件 装载装置 刷洗
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
雒建斌
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈攀
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 修整器 化学机械抛光 机械手 修整
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王同庆
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 抛光液 CMP 抛光垫
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐海滨
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 干燥装置 机械手 组件 装载装置
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何永勇
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 故障诊断 化学机械抛光 抛光液 旋转机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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