2025年3月20日
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韩雷刚
作品数:
8
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供职机构:
北京七星华创电子股份有限公司
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
张豹
北京七星华创电子股份有限公司
张晓红
北京七星华创电子股份有限公司
李春彦
北京七星华创电子股份有限公司
李曼
北京七星华创电子股份有限公司
裴立坤
北京七星华创电子股份有限公司
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张晓红
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:夹持 机械手 气源 卡盘 晶圆
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张豹
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:卡盘 夹持 硅片 晶片 机械手
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昝威
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:管路 处理系统 分析仪 化学制剂 切换
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李春彦
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:补液 药液温度 加热功率 自动化控制技术 压电晶体
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李曼
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:加热功率 补液 药液温度 自动化控制技术 出口
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裴立坤
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:储液罐 机械手 补液 晶圆 模块化
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王广明
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:硅片 硅 传输线 太阳能 硅太阳能电池
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赵宏宇
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:晶圆 机械手 支撑脚 占地面积 半导体工艺设备
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