2025年1月22日
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龚晨光
作品数:
3
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供职机构:
浙江大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
金属学及工艺
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合作作者
陈坚
浙江大学
叶必光
浙江大学
沈复初
浙江大学
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叶必光
供职机构:浙江大学材料与化学工程学院
研究主题:铜 抗氧化性 表面改性 CVD 渗硅层
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所获资助
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陈坚
供职机构:浙江大学
研究主题:氯乙烯 超临界二氧化碳 热氯化 水相悬浮 二氧化碳
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供职机构
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沈复初
供职机构:浙江大学材料与化学工程学院
研究主题:铜 CVD 抗氧化性 化学气相沉积 渗硅层
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