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王超
作品数:
6
被引量:10
H指数:1
供职机构:
北京航天控制仪器研究所
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发文基金:
国防基础科研计划
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相关领域:
交通运输工程
自动化与计算机技术
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合作作者
邢朝洋
北京航天控制仪器研究所
徐宇新
北京航天控制仪器研究所
胡启方
北京航天控制仪器研究所
王岩
北京航天控制仪器研究所
刘国文
北京航天控制仪器研究所
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邢朝洋
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:硅 微系统 MEMS 全硅 硅基
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
徐宇新
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:加速度计 电极 硅 全硅 MEMS器件
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
王岩
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:硅 谐振式 闭环 结构优化 闭环控制系统
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
胡启方
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:硅 全硅 MEMS 标度因数 MEMS器件
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相关人物
供职机构
所获资助
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刘国文
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:MEMS加速度计 加速度计 电极 三明治 键合
发表作品
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供职机构
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孙鹏
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:微系统 MEMS陀螺 刚挠结合板 抗振性 MEMS
发表作品
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供职机构
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徐杰
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:MEMS 弹性梁 过载 应力释放 音叉
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
庄海涵
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:MEMS陀螺 电极 刻蚀 硅 刚挠结合板
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
张玲
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:硅 谐振式 结构优化 模态分析 有限元分析
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相关人物
供职机构
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