2024年7月27日
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颜培力
作品数:
8
被引量:15
H指数:2
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
大连市科技计划项目
国家自然科学基金
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相关领域:
化学工程
电子电信
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合作作者
马铁成
大连轻工业学院化工与材料学院
焦继伟
中国科学院上海微系统与信息技术...
宓斌玮
中国科学院上海微系统与信息技术...
刘文俊
中国科学院大学
王敏昌
中国科学院大学
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焦继伟
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械陀螺 制作方法 MEMS 微机电系统 真空封装
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马铁成
供职机构:南阳理工学院
研究主题:陶瓷 荧光光谱 釉面砖 掺杂 杀菌陶瓷
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刘文俊
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS器件 保护环 孤岛 基板 扩展性
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研究领域
宓斌玮
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:真空封装 微机械陀螺 悬臂梁 块结构 MEMS器件
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王敏昌
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:角速度传感器 真空封装 基板 电极 致密性
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张颖
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械陀螺 微机械加工 固有频率 摄动法 统计分析
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刘贵山
供职机构:大连理工大学
研究主题:泡沫炭 中间相沥青 光谱参数 计算机仿真 高温炭化
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郭爽
供职机构:大连轻工业学院化工与材料学院
研究主题:超声 二氧化硅微球 单分散 水解法制备 医用
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宓斌伟
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题:MEMS 硅基薄膜 硅基 谐振器 自补偿
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秦嵩
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 硅基薄膜 硅基 电磁式 残余应力
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