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张进学

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 3个电子电信
  • 2个自动化与计算...
  • 1个冶金工程
  • 1个金属学及工艺
  • 1个机械工程

主题

  • 3个迭代
  • 3个迭代算法
  • 3个注入机
  • 3个离子注入
  • 3个离子注入机
  • 3个均匀性
  • 3个宽带
  • 2个单晶
  • 2个单晶圆
  • 2个镀膜
  • 2个镀膜设备
  • 2个质量分析器
  • 2个碳化硅
  • 2个温度场
  • 2个系统设计
  • 2个离子
  • 2个离子源
  • 2个晶圆
  • 2个控制器
  • 2个控制器设计

机构

  • 3个中国电子科技...
  • 1个中国电子科技...
  • 1个信息产业部

资助

  • 2个湖南省自然科...

传媒

  • 3个电子工业专用...
  • 2个自动化博览
  • 1个工业控制计算...
  • 1个工业加热
  • 1个激光与红外
  • 1个载人航天
  • 1个第十一届全国...
共 3 条 记 录，以下是 1-3
张赛
供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题：离子注入机 离子源 磁控溅射 镀膜设备 SIC
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钟新华
供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题：离子注入机 系统设计 系统模型 温度控制器 控制器设计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
彭立波
供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题：离子注入机 磁控溅射 离子注入 离子源 高温
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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