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庄海涵

作品数：41 被引量：26H指数：3
供职机构：北京航天控制仪器研究所更多>>
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邢朝洋
供职机构：北京航天控制仪器研究所
研究主题：硅 微系统 MEMS 全硅 硅基
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刘福民
供职机构：北京航天控制仪器研究所
研究主题：键合 电极 晶圆 MEMS加速度计 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐宇新
供职机构：北京航天控制仪器研究所
研究主题：加速度计 电极 硅 全硅 MEMS器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
梁德春
供职机构：北京航天控制仪器研究所
研究主题：键合 刻蚀 晶圆 刻蚀技术 芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡启方
供职机构：北京航天控制仪器研究所
研究主题：硅 全硅 MEMS 标度因数 MEMS器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李新坤
供职机构：北京航天控制仪器研究所
研究主题：气室 原子 碱金属 碱金属原子 脉冲激光沉积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘国文
供职机构：北京航天控制仪器研究所
研究主题：MEMS加速度计 加速度计 电极 三明治 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙鹏
供职机构：北京航天控制仪器研究所
研究主题：微系统 MEMS陀螺 刚挠结合板 抗振性 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王岩
供职机构：北京航天控制仪器研究所
研究主题：硅 谐振式 闭环 闭环控制系统 闭环控制
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘宇
供职机构：北京航天控制仪器研究所
研究主题：键合 晶圆 三明治 MEMS加速度计 加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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