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董荣康

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>

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地区

  • 5个上海市
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卢建国
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 金属 热电堆 热电偶 氮化硅膜
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张保安
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：空穴 多晶硅薄膜 金属薄膜 金属 结点
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨艺榕
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：各向异性腐蚀 镜面 微机械光开关 微机械 干法刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈德新
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：定子 热电堆 特性分析 微电机 压电超声马达
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戈肖鸿
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 微机械 互连 多晶硅 各向异性腐蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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