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刘文军

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供职机构：复旦大学微电子学院专用集成电路与系统国家重点实验室更多>>
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丁士进
供职机构：复旦大学
研究主题：原子层淀积 低介电常数 电荷 铜互连 快速热退火
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王永平
供职机构：复旦大学
研究主题：等离子体 互连工艺 阻挡层 电阻率 磁控溅射沉积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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