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刘卉敏

作品数：3 被引量：2H指数：1
供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）江苏省薄膜材料重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学一般工业技术更多>>

合作作者

领域

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  • 1个核科学技术
  • 1个医药卫生
  • 1个文化科学

主题

  • 4个等离子体刻蚀
  • 4个刻蚀
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  • 4个苏州大学
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传媒

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地区

  • 4个江苏省
共 4 条 记 录，以下是 1-4
邓艳红
供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）江苏省薄膜材料重点实验室
研究主题：等离子体刻蚀 CHF O
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
叶超
供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）
研究主题：氟化非晶碳薄膜 低介电常数 F 等离子体 介电
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
崔进
供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）
研究主题：等离子体刻蚀 表面粗糙度 CHF 沟道 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周峰
供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）江苏省薄膜材料重点实验室
研究主题：等离子体刻蚀 O
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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