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2024年7月25日星期四

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朱江平: 作品数：30 被引量：25H指数：3; 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>; 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>; 相关领域：机械工程理学电子电信一般工业技术更多>>

合作作者

胡松中国科学院光电技术研究所
唐燕中国科学院光电技术研究所
何渝中国科学院研究生院
陈铭勇中国科学院光电技术研究所
赵立新中国科学院光电技术研究所

作品列表
供职机构
相关作者
所获基金
研究领域

领域

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17个机械工程
17个电子电信
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6个轻工技术与工...
6个医药卫生
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4个经济管理
4个生物学
3个动力工程及工...
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2个化学工程
2个核科学技术
2个农业科学
1个交通运输工程
1个环境科学与工...
1个艺术

主题

20个光刻
18个掩模
18个光栅
17个条纹
17个投影光刻
17个无掩模
17个光刻机
16个衍射
16个图像
15个投影光刻机
15个物镜
15个莫尔条纹
13个无掩模光刻
12个调焦
11个照明
10个叠栅条纹
9个电机
9个信号
8个大行程
6个电路

机构

21个中国科学院
8个中国科学院研...
5个中国科学院大...
3个四川大学
2个电子科技大学
1个华南理工大学
1个京东方科技集...
1个中国科学院重...

资助

20个国家自然科学...
13个国家高技术研...
3个国家重点基础...
3个四川省科技支...
3个国家科技重大...
3个国家教育部博...
3个中国科学院“...
3个中国科学院西...
2个教育部留学回...
2个成都市科技攻...
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2个中国科学院知...
2个中国科学院知...
2个中央高校基本...
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1个山西省回国留...
1个山西省自然科...

传媒

15个中国激光
10个光学学报
10个光电工程
10个微纳电子技术
7个激光与光电子...
6个红外与激光工...
6个微细加工技术
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5个电子工业专用...
4个现代科学仪器
4个光子学报
3个半导体技术
3个物理学报
3个机械设计与制...
3个现代电子技术
3个2010(第...
2个中国仪器仪表
2个量子电子学报
2个科学通报
2个科技导报

地区

19个四川省
1个北京市
1个广东省

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胡松: 供职机构：中国科学院光电技术研究所; 研究主题：光刻机工件台光刻掩模生物芯片; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

唐燕: 供职机构：中国科学院光电技术研究所; 研究主题：调制度三维形貌成像相移超分辨; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

何渝: 供职机构：中国科学院光电技术研究所; 研究主题：光刻数字微镜工件台衍射成像; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

陈铭勇: 供职机构：中国科学院光电技术研究所; 研究主题：投影光刻无掩模光刻光刻机投影物镜莫尔条纹; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

赵立新: 供职机构：中国科学院光电技术研究所; 研究主题：光刻机掩模工件台调制度镜片; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

于军胜: 供职机构：电子科技大学; 研究主题：基板有机电致发光器件柔性衬底钙钛矿光电子器件; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

刘旗: 供职机构：中国科学院光电技术研究所; 研究主题：工件台移植性掩模大行程跟踪误差; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

刘俊伯: 供职机构：中国科学院光电技术研究所; 研究主题：光刻机数值孔径投影光刻机光刻掩模; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

周绍林: 供职机构：华南理工大学; 研究主题：纳米光刻条纹光固化光栅成像系统; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

李光: 供职机构：中国科学院光电技术研究所; 研究主题：参考光投影物镜测量系统测量方法光波; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

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