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钟卫威

作品数：3 被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信机械工程更多>>

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共 6 条 记 录，以下是 1-6
司朝伟
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：锚点 电极 压电层 MEMS 谐振器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
韩国威
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：锚点 电极 MEMS 压电层 掩膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宁瑾
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：电极 牺牲层 锚点 MEMS 4H-SIC
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵永梅
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：碳化硅 3C-SIC 衬底 刻蚀 碳化硅材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨富华
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：淀积 相变存储器 电极 谐振器 纳米尺寸
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
康中波
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：亚微米 RFMEMS RF_MEMS 滤波器 碳化硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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