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刘昆
作品数:
12
被引量:38
H指数:1
供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
周常河
中国科学院上海光学精密机械研究...
李树斌
中国科学院上海光学精密机械研究...
韦盛斌
中国科学院上海光学精密机械研究...
王少卿
中国科学院上海光学精密机械研究...
黄巍
中国科学院上海光学精密机械研究...
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周常河
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光栅 达曼光栅 电子束直写 衍射效率 位相
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所获资助
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李树斌
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光栅 垂直入射 电子束直写 光栅周期 衍射效率
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研究领域
王少卿
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:达曼光栅 衍射 波带片 焦深 自聚焦
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黄巍
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:达曼光栅 传输线 形态学分析 光栅 激光直写
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韦盛斌
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:达曼光栅 三维轮廓测量 传输线 测量方法 衍射
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朱锋
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光栅 达曼光栅 激光直写 电子束直写 垂直入射
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范鑫
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:达曼光栅 彩色纹理 彩色CCD 红外激光器 光学元器件
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曹红超
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光栅 光栅周期 电子束直写 衍射效率 达曼光栅
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吴俊
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:电子束直写 垂直入射 光栅周期 衍射效率 光栅
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卢炎聪
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光栅干涉仪 光栅 数据采集和处理 垂直入射 衍射效率
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