2024年8月28日
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王萌
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
供职机构:
河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
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发文基金:
国家科技重大专项
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相关领域:
电子电信
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合作作者
王海霞
河北工业大学信息工程学院微电子...
郑伟艳
河北工业大学信息工程学院微电子...
田巧伟
河北工业大学信息工程学院微电子...
戎向向
河北工业大学信息工程学院微电子...
刘玉岭
河北工业大学信息工程学院微电子...
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田巧伟
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:铜布线 CMP 化学机械抛光 碱性抛光液 纳米SIO
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戎向向
供职机构:河北工业大学信息工程学院
研究主题:虚拟仪器技术 LABVIEW 虚拟信号发生器 信号发生器 CMP
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王辰伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
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郑伟艳
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP 铜布线 碱性抛光液 化学机械平坦化 碱性
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王海霞
供职机构:河北工业大学信息工程学院
研究主题:IDE SOPC技术 SOPC NIOS 波形发生器
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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