2025年1月21日
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谭姣姣
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
供职机构:
江南大学信息工程学院
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发文基金:
上海市科委科研计划项目
国家重点实验室开放基金
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
姚锦元
上海交通大学微纳米科学技术研究...
汪红
上海交通大学微纳米科学技术研究...
丁桂甫
上海交通大学微纳米科学技术研究...
李光杨
上海交通大学微纳米科学技术研究...
杨卓青
上海交通大学微纳米科学技术研究...
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李光杨
供职机构:上海交通大学
研究主题:微电铸 镀液 微结构 超声清洗 超薄膜
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汪红
供职机构:上海交通大学
研究主题:TSV MEMS 图形化 微加工 微机电系统
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丁桂甫
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
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所获资助
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姚锦元
供职机构:上海交通大学
研究主题:电镀 微机电系统 微加工 阴极 碳纳米管
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杨卓青
供职机构:上海交通大学
研究主题:绝缘衬底 惯性开关 微机电系统技术 蛇形弹簧 微机电系统
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相关人物
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