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赵晓光
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清华大学
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尤政
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尤睿
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尤政
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研究主题:超级电容器 星敏感器 MEMS 微机电系统 太阳敏感器
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尤睿
供职机构:清华大学
研究主题:微系统 开放腔 通用电路 预成型 心脏起搏器
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张凌云
供职机构:清华大学
研究主题:建筑设计 光束 相位调制 入射 建筑技术
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赵嘉昊
供职机构:清华大学
研究主题:共面波导 电极 微系统 RF_MEMS开关 静电驱动
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张高飞
供职机构:清华大学
研究主题:航天器 太阳敏感器 继电器 MEMS 敏感器
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阮勇
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 继电器 刻蚀 微机电系统 微电子机械系统
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刘晓琴
供职机构:清华大学
研究主题:硅 干法刻蚀 硅片 刻蚀 线宽
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邢飞
供职机构:清华大学
研究主题:星敏感器 太阳敏感器 导航星 视场 大视场
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张利
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 掩膜 大行程 套刻精度
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刘松涛
供职机构:清华大学
研究主题:扫描镜 电容 标定点 角位移 电容式角位移传感器
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