2025年2月15日
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郭成军
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
东北大学机械工程与自动化学院
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相关领域:
一般工业技术
自动化与计算机技术
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合作作者
黄化岩
中国科学院上海应用物理研究所
张以忱
东北大学机械工程与自动化学院
宋青竹
沈阳真空技术研究所
黄英
东北大学机械工程与自动化学院
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黄英
供职机构:东北大学机械工程与自动化学院
研究主题:工程图学 图学教育 磁控溅射 工程图学课程 直流磁控溅射
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黄化岩
供职机构:中国科学院上海应用物理研究所
研究主题:真空系统 上海光源 光束线 电子激发 VISUAL
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宋青竹
供职机构:沈阳真空技术研究所
研究主题:冷坩埚 磁控溅射 膜厚均匀性 仿真 过热度
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张以忱
供职机构:东北大学
研究主题:真空 真空系统 真空技术 磁控溅射 非平衡磁控溅射
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