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鲍云英
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
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相关领域:
电子电信
冶金工程
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合作作者
贾英茜
河北工业大学信息工程学院微电子...
刘玉岭
河北工业大学信息工程学院微电子...
武晓玲
河北工业大学信息工程学院微电子...
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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武晓玲
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:化学机械抛光 抛光液 铌酸锂 抛光速率 CMP
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贾英茜
供职机构:石家庄学院
研究主题:化学机械抛光 抛光液 钨 MEMS CMP
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