李翔
作品数: 9被引量:0H指数:0
  • 所属机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
  • 所在地区:陕西省 西安市

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作品数:4被引量:0H指数:0
供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题:TSV SOI衬底 刻蚀 晶圆 盲孔