刘松
作品数： 19被引量：0H指数：0
  • 所属机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
  • 所在地区:陕西省 西安市
  • 研究方向:电子电信

相关作者

单光宝
作品数：22被引量：0H指数：0
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：TSV 硅 芯片面积 SOI衬底 硅晶圆
孙有民
作品数：15被引量：0H指数：0
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：TSV 硅 SOI衬底 硅晶圆 刻蚀
谢成民
作品数：15被引量：0H指数：0
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：晶体管 硅 大容量 存储芯片 存储器
李翔
作品数：9被引量：0H指数：0
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：TSV 绝缘工艺 芯片面积 绝缘层 SOI衬底
张巍
作品数：6被引量：0H指数：0
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：TSV SOI衬底 RDL 硅晶圆 光刻分辨率
作品列表