-
林钢
-
-
- 所属机构:中国科学院微电子研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家重点基础研究发展计划
相关作者
- 徐秋霞
- 作品数:366被引量:64H指数:4
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:金属栅 半导体器件 刻蚀 沟道 堆叠
- 钟兴华
- 作品数:13被引量:3H指数:1
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:SOI CMP 光刻胶 金属栅 平坦化
- 周华杰
- 作品数:62被引量:3H指数:1
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:金属栅 鳍片 自顶向下 沟道效应 硅化