张巍
作品数： 6被引量：0H指数：0
  • 所属机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
  • 所在地区:陕西省 西安市
  • 研究方向:电子电信

相关作者

刘松
作品数：19被引量：0H指数：0
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：TSV 硅 SOI衬底 硅晶圆 互连结构
单光宝
作品数：22被引量：0H指数：0
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：TSV 硅 SOI衬底 硅晶圆 互连结构
孙有民
作品数：15被引量：0H指数：0
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：TSV 硅 SOI衬底 硅晶圆 刻蚀
袁海
作品数：6被引量：14H指数：1
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：TSV RDL 硅晶圆 光刻分辨率 胶层
杜欣荣
作品数：4被引量：0H指数：0
供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题：TSV SOI衬底 刻蚀 晶圆 盲孔
作品列表