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深圳市科技计划项目(SY200609080027A)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：张以忱于大洋杨宏伟更多>>
相关机构：东北大学深圳国家863计划材料表面工程技术研究开发中心更多>>
发文基金：深圳市科技计划项目更多>>
相关领域：理学一般工业技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 1篇电弧离子镀
  • 1篇镀膜技术
  • 1篇离子镀
  • 1篇金刚石膜
  • 1篇类金刚石
  • 1篇类金刚石膜
  • 1篇非平衡磁控溅...
  • 1篇复合离子
  • 1篇DLC膜
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇东北大学
  • 1篇深圳国家86...

作者

  • 1篇杨宏伟
  • 1篇于大洋
  • 1篇张以忱

传媒

  • 1篇核技术

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
复合离子镀膜技术制备Cr＋Ti＋TiNC／TiNC＋C／DLC膜性能研究被引量：3
2008年
结合中频孪生靶非平衡磁控溅射、电弧离子镀和霍尔离子源辅助沉积三种工艺,制备了Cr+Ti+TiNC/TiNC+C/DLC硬质膜。硬质膜呈深黑色,表面比较光滑,顶层为掺N的类金刚石(Diamond-like Carbon,DLC)膜,中间层为含C的TiNC,底层为含Ti和Cr的TiNC,力学性能良好。
马胜歌于大洋杨宏伟张以忱
关键词：类金刚石膜非平衡磁控溅射电弧离子镀
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