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深圳市科技计划项目(SY200609080027A)
作品数:
1
被引量:3
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相关作者:
张以忱
于大洋
杨宏伟
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相关机构:
东北大学
深圳国家863计划材料表面工程技术研究开发中心
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发文基金:
深圳市科技计划项目
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理学
一般工业技术
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杨宏伟
供职机构:深圳国家863计划材料表面工程技术研究开发中心
研究主题:DLC膜 复合离子 非平衡磁控溅射 镀膜技术 电弧离子镀
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所获资助
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于大洋
供职机构:东北大学机械工程与自动化学院
研究主题:非平衡磁控溅射 DLC 电弧离子镀 硬质膜 掺杂
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张以忱
供职机构:东北大学
研究主题:真空 真空系统 真空技术 磁控溅射 非平衡磁控溅射
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