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基于线阵CCD步进扫描的光照均匀度检测方法被引量：4: 2018年; 为了提高LED照明系统均匀度检测方法的测量精度和速度,提出了一种基于线阵电荷耦合器件(CCD)步进扫描的均匀度检测新方法。采用线阵CCD及步进扫描机构、控制系统、图像采集系统、积分球光源系统、非均匀性修正单元和计算机系统等构建了均匀度检测装置。对检测用的线阵CCD的非均匀性响应进行了检测与修正,测试了光学暗室噪声与待测LED均匀照明系统的CCD图像灰度矩阵。分析表明,这种方法测得暗室噪声的均方差约为0.0038,测得待测照明系统最佳参数设置时的均匀度为92.3%。; 张强蒋世磊孙国斌王震张梦妮; 关键词：线阵CCD LED照明系统

三光束激光干涉光刻的实现方法被引量：6: 2011年; 分析了多光束空间分布产生的误差对图形的影响,通过计算优化得到三光束产生的干涉图形在整个面内有着更好的图形稳定性。利用氦镉激光光源通过特定的光学系统形成空间分布近似旋转对称的三束光,对光致抗蚀剂进行干涉曝光,制作出了周期600nm、高度350nm的蜂窝状点阵,测量结果表明该系统具有很好的图形重复性和稳定性,同时降低了对于光学光路的精密性要求。; 刘国强张锦周崇喜; 关键词：干涉光刻

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国家自然科学基金(60940035)