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国家自然科学基金(60940035)

作品数：2 被引量：10H指数：2
相关作者：刘国强周崇喜张锦孙国斌蒋世磊更多>>
相关机构：西安工业大学中国科学院中国科学院研究生院更多>>
发文基金：国家自然科学基金广东省中国科学院全面战略合作项目西安工业大学校长基金更多>>
相关领域：机械工程理学电子电信更多>>

领域

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主题

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机构

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资助

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传媒

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地区

  • 3个陕西省
  • 1个北京市
  • 1个四川省
共 5 条 记 录，以下是 1-5
孙国斌
供职机构：西安工业大学
研究主题：光阑 多光束干涉 衍射光学元件 磁控溅射 光学
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘国强
供职机构：中国科学院研究生院
研究主题：干涉光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张锦
供职机构：西安工业大学
研究主题：光刻系统 光刻 干涉光刻 光刻技术 激光干涉
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周崇喜
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光束整形 半导体激光器 微透镜阵列 透镜 光纤耦合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蒋世磊
供职机构：西安工业大学
研究主题：光学系统 干涉光刻 光阑 光学镜头 波片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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