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Ar在4．5～12nm光电离截面的测量: 2007年; 利用双收集板电离室作为吸收池研究了Ar在4．5～12nm波段的吸收截面．在5～12nm波段间，实验测得的光电离截面的相对误差范围在±10％以内，与West和Samson等的测量结果有很好的可比性．; 霍同林周洪军钟鹏飞蒋新亭; 关键词：AR 光电离截面

接近式光刻图形失真的部分相干光理论分析被引量：3: 2007年; 光刻过程中由于光的衍射效应产生的非线性畸变对光刻面形质量具有严重影响,是造成光刻微结构图形失真的主要原因之一.为此,研究了接近式紫外光刻中部分相干光的传播过程,建立了相应的光刻理论模型,对光刻成像中的误差产生机理进行分析.该模型综合考虑光源和照明系统对掩模微结构附近光场相干性的影响,将光刻模拟分为3部分.首先根据Van Cittert-Zernike定理确定了光源经扩束准直系统传播到蝇眼透镜入射面时光场上任2点的互强度.然后应用部分相干光的传播理论,由Hopkins公式得到部分相干光经蝇眼透镜传播到掩模平面后其上任一点对的复相干度的分布规律.最后根据互强度传播定律,分析从掩模面到光刻胶表面的衍射效应,得到光刻胶表面的光强分布及变化规律,并且通过误差的仿真分析模拟得到光刻胶图形轮廓.结果表明,理论模拟结果与实验较为吻合.该方法能准确地得到衍射光场的分布,进行光刻误差分析,从而能较好地发现曝光图形缺陷.; 李木军沈连婠郑津津赵玮李晓光刘雳頲; 关键词：部分相干光

基于遗传算法的接近式紫外光刻中掩模补偿优化研究被引量：1: 2008年; 针对接近式紫外光刻图形转移中的曝光形状失真问题,基于补偿思想,应用遗传算法,在引起衍射的掩模特征处,通过调整其形状,实现了光刻胶表面的衍射光场调制。根据光刻曝光轮廓特点,设计评价策略,提出一种分段分类的思想,减小了问题的求解空间,快速优化了掩模设计图形。仿真结果表明优化补偿后的掩模图形降低了衍射造成的曝光图形的形状失真程度。该研究为如何提高接近式紫外光刻精度提供了一种新的思路。; 李晓光沈连婠李木军郑津津张四海; 关键词：接近式光刻遗传算法掩模 UV-LIGA

真空系统设计的程序实现: 随着航天和空间科学的发展及真空在原子能科学和表面物理、微电子学等学科中的应用,真空系统设计计算等应用越来越普遍。在真空系统设计中,流导的计算一般采用手工计算。流导与气流状态和管道形状密切相关,一般要先确定气体流态,再根据...; 周洪军钟鹏飞郑津津霍同林; 关键词：真空系统流导差分; 文献传递

基于MC算法的MEMS光刻仿真的三维重建方法研究: 2008年; 以MC(Marching Cubes)算法为基础,提出了一种补全重建后生成的三维形体表面出现空洞的方法,使用该方法进行三维重建生成的三维形体具有完整的外表面和良好的可视化效果。提出了一种三维重建时对多个形体进行布尔运算的新方法,该方法以MC算法为基础,将三维重建和布尔运算相结合,可以简单、方便、高效地进行三维重建时的布尔运算。; 王晓东范明聪沈连婠; 关键词：MARCHING CUBES 三维重建等值面

基于Web的三维虚拟产品模型的交互操作和同步浏览的实现被引量：3: 2006年; 为满足基于W eb面向用户的协同交流的需要,在客户和企业设计者之间搭建了一个实时交流的平台。提出了一种对VRML模型进行交互操作和同步浏览的方法,解决了对VRML产品模型进行预处理以及实现同步浏览的关键技术,并以Cortona浏览器为显示工具,使虚拟模型的交互操作和同步浏览得以实现。; 赵玮沈连婠王晓东李木军; 关键词：VRML 交互操作同步浏览

接近式光刻的角谱法仿真研究被引量：1: 2007年; 在基于UV-LIGA技术的大高宽比微细结构的加工技术中,接近式紫外光刻工艺会因衍射效应而使掩模图形在复制过程中产生图形失真,从而引起光刻胶结构的形状缺陷。对该衍射光场进行计算机仿真,预测光刻图形误差,可以为误差修正提供理论依据。运用快速傅里叶(FFT)方法对接近式曝光进行角谱计算,研究了FFT相关参数的选择依据和参数范围的确定原则,详细讨论了光刻机的照明机理对参数选择的影响。通过对光刻胶表面和内部的衍射光场分布的仿真计算,表明了该方法既具有好的计算精度,又具有计算速度快的明显优势。给出了与利用瑞利索末菲衍射公式进行的仿真计算的比较,两者的计算精度相差很小,但本方法的计算速度快了几十倍。由此表明,本FFT方法可以为在掩模设计阶段就预修正微结构图形,为获得理想的光刻胶图形的可制造设计(design for manufacture)的工程实用化提供一种可行的途径。; 李晓光沈连郑津津李木军陈有梅; 关键词：紫外曝光接近式光刻快速傅里叶变换

主动隔振系统的并行设计方法研究被引量：2: 2008年; 针对传统的串行设计方法很难使主动隔振系统性能达到全局最优这一问题,提出了一种基于线性矩阵不等式(LM I)的主动隔振系统机械结构参数及其控制器的并行设计方法.该方法将主动隔振系统机械结构及控制器的设计结合起来,从提高系统隔振效果出发,得到了系统机械结构参数和控制器的最优设计准则.给出了一个运用此方法进行超精密隔振平台并行设计的实例,理论分析和仿真计算结果表明,并行设计的主动隔振系统较传统串行设计的系统能够明显降低隔振对象的振动位移,从而有效提高系统的隔振效果.; 张屹竺长安沈连婠郑津津; 关键词：主动隔振系统线性矩阵不等式仿真

紫外光刻中部分相干光的传播及衍射效应被引量：9: 2007年; 基于Hopkins公式,研究了接近式紫外光刻中扩展准单色光源经柯勒照明系统传播到掩模表面上任两点的复相干度,并建立相应的基于部分相干光理论的光刻模型.应用部分相干光的传播理论,研究掩模平面到光刻胶表面任意两点互强度的传播,进而得到光刻胶表面的光强分布.以此为基础,分析了由于掩模与光刻胶之间光的衍射效应而产生的光刻微结构的图形失真.给出了理论模型的计算模拟结果,并用实验对该理论模型的计算结果进行了验证.; 李木军沈连婠赵玮李晓光范明聪王晓东刘雳颋郑津津; 关键词：部分相干光

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国家自然科学基金(60473133)