国家自然科学基金(50375150)
- 作品数：3 被引量：2H指数：1
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- 相关领域：电子电信金属学及工艺自动化与计算机技术更多>>
- 纳米岛光刻技术及其应用被引量：1
- 2004年
- 介绍了一种基于微加工技术的新方法———纳米岛光刻技术。利用该技术制造出几十纳米到微米尺度的岛结构,然后利用剥离、刻蚀等微加工技术,将该岛转化成纳米孔、纳米岛、纳米井等结构。该技术的特点是能够制造出具有各种密度的纳米结构(最高覆盖率可达50%以上),且开发成本低,工艺性能优越,是一种有效制造纳米岛结构的专业方法。
- 伊福廷Mino Green
- 关键词：光刻微加工
- 氯化铯纳米岛生长技术
- 2008年
- 氯化铯纳米岛光刻技术是一种分子自组装光刻技术,该技术利用氯化铯在一定湿度下的自组装特性来形成具有一定尺寸和分布的原始氯化铯纳米岛结构,通过调整工艺条件可以适度控制氯化铯岛结构的尺寸和覆盖率。氯化铯岛结构的尺寸和覆盖率主要取决于氯化铯薄膜厚度、显影时间和相对湿度,其中膜厚的影响最大。通常在其他条件不变的情况下,薄膜越厚覆盖率越高,而显影时间越长覆盖率则可能越低。在厚度、相对湿度一定的情况下,显影时间较短时,岛结构以小直径为主,随着时间增加,该结构直径分布变得均匀,并且以大直径为主,两者都大致符合高斯分布。
- 罗亮伊福廷张菊芳
- 关键词：自组装技术纳米加工技术
- LIGA技术在先进模具制造中的应用被引量：1
- 2006年
- LIGA技术自其发明和公开报道已有十几年的发展历史，已在世界各地发展起来，带动和激发了微机电系统——MEMS（Microelectromechanical System）加工热潮。经过十几年的努力，LIGA技术日已成熟，在很多领域内得到了应用。LIGA技术以大高宽比结构和加工厚度著称，结构高宽比可达100以上，结构厚度可在1毫米以上，是其他任何加工技术所不能够相比的。这一优越的加工能力为在微机械制造中发挥作用，提供了坚实的技术基础。该技术的目标就是制造模具，用于注塑和模压工艺过程中所需要的金属模具。通过对该技术以及北京同步辐射的LIGA技术发展现状和应用的介绍。希望对同仁有所帮助。共同推进该技术在模具制造领域内的应用。
- 伊福廷张菊芳
- 关键词：微机械LIGA技术微细加工技术
- 利用光刻技术研制雾化器的金属微孔阵列
- 金属微孔在许多领域内有着巨大的需求,电火花、激光打孔、化学腐蚀及光刻等技术被开发用于各种需求的金属微孔加工。迷你雾化器产品需要有一定锥度的金属微孔片,满足该产品的需要,利用光刻和电镀技术完成了该雾化器特殊金属微孔结构的制...
- 伊福廷张菊芳侯凤杰
- 关键词：微加工光刻
- 文献传递
- 利用光刻技术研制雾化器的金属微孔阵列
- 金属微孔在许多领域内有着巨大的需求,电火花、激光打孔、化学腐蚀及光刻等技术被开发用于各种需求的金属微孔加工。迷你雾化器产品需要有一定锥度的金属微孔片,满足该产品的需要,利用光刻和电镀技术完成了该雾化器特殊金属微孔结构的制...
- 伊福廷张菊芳侯凤杰
- 关键词：微加工光刻
- 文献传递
