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国家自然科学基金(50375150)
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3
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相关作者:
伊福廷
张菊芳
罗亮
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相关机构:
中国科学院
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国家自然科学基金
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伊福廷
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:LIGA技术 光刻 LIGA 微细加工 光刻胶
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供职机构
所获资助
研究领域
张菊芳
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:LIGA技术 微细加工 LIGA 掩模 电火花加工
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相关人物
供职机构
所获资助
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罗亮
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:纳米加工技术 纳米 氯化铯 自组装技术 GEM
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