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国家科技重大专项(2009-10)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：刘明哲叶家发更多>>
相关机构：中国科学院中国科学院研究生院更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇数据采集
  • 1篇通信
  • 1篇自动化
  • 1篇工厂自动化
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体设备
  • 1篇INTERF...

机构

  • 1篇中国科学院
  • 1篇中国科学院研...

作者

  • 1篇叶家发
  • 1篇刘明哲

传媒

  • 1篇机械设计与制...

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
面向半导体设备的Interface A通信方法研究被引量：1
2012年
针对半导体设备工厂自动化的设备数据采集需求,给出了一种基于Interface A标准的通信方法,该方法构造了设备的通用模型,设计了设备通信的安全认证和授权机制,并给出了采集设备实时数据的方法,可满足工厂自动化系统对半导体设备的数据采集和设备控制需求。
叶家发刘明哲
关键词：半导体设备INTERFACE数据采集工厂自动化
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