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国家科技重大专项(2009-10)
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1
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刘明哲
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刘明哲
供职机构:中国科学院沈阳自动化研究所
研究主题:半导体生产线 天车 实时以太网 现场总线 控制器
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叶家发
供职机构:中国科学院沈阳自动化研究所
研究主题:数据采集 INTERFACE 半导体设备 工厂自动化 通信
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