国家自然科学基金(60606012)
- 作品数：2 被引量：3H指数：1
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- 工件台移动直线性对掩模移动曝光的影响被引量：3
- 2007年
- 针对工件台制造和装配过程中产生的移动直线性误差,建立了掩模沿曲线移动时曝光量与曲线和移动距离之间关系的数学模型。通过对实测工件台移动直线性误差规律的分析,确定了近似的移动曲线函数。利用MATLAB进行数值模拟的方法,分别模拟了沿理想直线移动、不同幅值和不同移动距离的曲线移动时,所获得元件的面形,并分析了面形误差的影响因素和"竹节"误差产生的原因。最后得出结论:通过控制移动距离为一倍的掩模图形重复周期,并减小工件台移动直线性误差,对控制元件的面形精度和"竹节"误差最为有利。
- 佟军民胡松董小春严伟余国彬
- 关键词：面形精度
- 掩模移动曝光系统精密定位工件台研制
- 2007年
- 为满足掩模移动曝光技术制作微光学元件的要求,研制了接近式曝光系统中使用的x-y二维精密移动工件台。该工件台由x-y二维整体手动工作台子系统、x-y二维掩模精密移动台子系统和承片台子系统组成。利用一个方导轨和两对V形导轨组成的滚动导轨副实现了x向和y向精密移动的导向功能;利用驱动器、电机、光栅、细分卡、单片机构成的闭环控制系统保证了x和y向的运动精度;在气浮的作用下,利用掩模版靠平基片实现了调平功能;利用差动螺旋机构和1∶2杠杆缩小机构实现了间隙的调整功能。经检测,工件台在8 mm的工作行程范围内,沿x,y方向移动的直线性分别达到了4″和3″,两个方向的正交性达到了10″,运动定位精度达到了1.2μm。
- 佟军民胡松余国彬
