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国家自然科学基金(60606012)

作品数：2 被引量：3H指数：1
相关作者：胡松佟军民余国彬严伟董小春更多>>
相关机构：中国科学院许昌职业技术学院中国科学院研究生院更多>>
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相关领域：电子电信更多>>

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地区

  • 4个四川省
  • 1个河南省
共 5 条 记 录，以下是 1-5
佟军民
供职机构：许昌职业技术学院
研究主题：工件台 高职院校 光刻 纳米光刻 齿轮减速箱
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
余国彬
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻分辨力 投影光刻物镜 相机 投影光刻 偏振
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡松
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
严伟
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：生物芯片 光刻 工件台 纳米光刻 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
董小春
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：微透镜阵列 掩模 医疗美容 微透镜列阵 抗蚀剂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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