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国家重点实验室开放基金(9140C7903011007)

作品数：1 被引量：5H指数：1
相关作者：王艳陶凯王佩红汪红丁桂甫更多>>
相关机构：安徽大学上海交通大学更多>>
发文基金：国家重点实验室开放基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术电气工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电气工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇永磁
  • 1篇永磁材料
  • 1篇微机电系统
  • 1篇微细
  • 1篇微细加工
  • 1篇机电系统
  • 1篇MEMS
  • 1篇磁材料
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇安徽大学
  • 1篇上海交通大学

作者

  • 1篇杨卓青
  • 1篇吴义伯
  • 1篇丁桂甫
  • 1篇汪红
  • 1篇王佩红
  • 1篇陶凯
  • 1篇王艳

传媒

  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
MEMS中永磁材料的微细加工技术研究进展被引量：5
2011年
概述了永磁材料在微机电系统(MEMS)中集成制造方法的研究进展,总结了当前用于制造永磁薄膜的电沉积、溅射、脉冲激光沉积(PLD)和粘结磁体微图形化等4种主要加工技术的优缺点和研究现状,并对未来的发展方向提出了一些观点。
陶凯丁桂甫杨卓青王佩红吴义伯汪红王艳
关键词：微机电系统永磁材料微细加工
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共1页<1>
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