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国家重点实验室开放基金(9140C7903011007)
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王艳
陶凯
王佩红
汪红
丁桂甫
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丁桂甫
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
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王佩红
供职机构:安徽大学
研究主题:纳米发电机 微机电系统 电磁式 永磁体 MEMS
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王艳
供职机构:上海交通大学医学院
研究主题:磁力研磨 化学品 偿付能力 金刚石砂轮 学科建设
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杨卓青
供职机构:上海交通大学
研究主题:绝缘衬底 惯性开关 微机电系统技术 蛇形弹簧 微机电系统
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吴义伯
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统技术 双稳态 微机电技术 电热驱动 金属
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陶凯
供职机构:上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
研究主题:MEMS 微细加工 微机电系统 永磁材料
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汪红
供职机构:上海交通大学
研究主题:TSV MEMS 图形化 微加工 微机电系统
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