国家自然科学基金(60408004)
- 作品数：3 被引量：6H指数：2
- 相关作者：邢廷文姚汉民周崇喜张晓玉高洪涛更多>>
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- SU-8光刻胶制作三维光子晶体被引量：2
- 2007年
- 针对SU-8光刻胶应用于三维光子晶体的制作研究,本文提出并实现了对SU-8光刻胶的重要成分SU-8环氧树脂采用柱层析和高压液相色谱-尺寸排阻色谱法进行分离,分离结果表明SU-8环氧树脂分子量分布范围很大,从大约100～100000,包括SU-1、SU-2、SU-4、SU-6、SU-8多种组分及其混合物.采用分离后的SU-8和SU-6纯组分配制了性能优化的SU-8光刻胶,并总结了其最佳光刻工艺,结合干涉光刻技术制作了晶格常数为922nm的三维面心立方光子晶体结构.
- 张晓玉高洪涛周崇喜刘强邢廷文姚汉民
- 关键词：SU-8光刻胶三维光子晶体柱层析
- SU-8环氧树脂的分离实验研究被引量：1
- 2007年
- 为分析和解决商业用SU-8胶在355 nm波长的吸收性和后烘缩胶等问题,先采用柱层析对SU-8环氧树脂进行分离,然后进一步用高压液相色谱-尺寸排阻色谱法对SU-8环氧树脂进行分离和分析。结果表明,SU-8环氧树脂包括SU-1,SU-2,SU-4,SU-6和SU-8多种组分及其它杂质,分子量分布在100-100 000的范围。根据分析结果,研究了上述问题出现的原因,并配制了性能优化的SU-8光刻胶,结合全息光刻技术制作了三维光子晶体。
- 张晓玉周崇喜姚汉民邢廷文
- 关键词：SU-8光刻胶
- 激波调制光子晶体频率转换效应的研究被引量：3
- 2008年
- 研究了被激波调制的光子晶体对入射光产生的频率转换效应。建立了弹性激波调制一维光子晶体的物理模型;提出了准静态带隙结构的概念,并采用FDTD和平面波展开法计算了其光子带隙;通过数值计算和微扰分析,发现该频率转换是一个量化累积过程,并对该频率转换效应及其量化累积现象提出一种基于光子-声子相互作用和表面衰减模的解释,同时,分析了该频率转换效应的特性。
- 张晓玉高洪涛王长涛周崇喜杜春雷邢廷文姚汉民
- 关键词：光子晶体激波带隙结构
