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国家自然科学基金(60408004)
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邢廷文
姚汉民
周崇喜
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姚汉民
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻分辨力 投影光刻物镜 原子束 光刻 光子晶体
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邢廷文
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:面形 数值孔径 光刻 光焦度 投影物镜
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张晓玉
供职机构:兰州大学
研究主题:光子晶体 二维光子晶体 反应离子刻蚀 空气柱 微细加工技术
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周崇喜
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光束整形 半导体激光器 微透镜阵列 透镜 光纤耦合
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高洪涛
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:医疗美容 杂光 人体皮肤 原子束 皮肤
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王长涛
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:超分辨 光刻 掩模 表面等离子体 衍射
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杜春雷
供职机构:中国科学院重庆绿色智能技术研究院
研究主题:石墨烯 微透镜阵列 微透镜列阵 微光学元件 掩模
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刘强
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:微透镜阵列 光刻 防伪标识 光刻掩模 微透镜
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