国家自然科学基金(61076100)
- 作品数：1 被引量：1H指数：1
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- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 基于模糊PID的光刻机同步扫描控制被引量：1
- 2011年
- 基于模糊PID控制理论,介绍了步进扫描光刻机中工件台同步扫描的控制方法,并简要介绍了相关的控制理论基础知识,详细阐述了模糊控制器的制作过程和模糊规则的制定方法。另外针对同步扫描控制的难点,简要介绍了步进扫描光刻机的同步扫描过程,而且建立了同步运动的执行器直线电机的仿真模型。采用模糊PID理论对同步扫描系统进行控制策略研究,仿真实验表明,硅片台稳态误差及掩膜台稳态误差能够快速衰减达到稳定状态,而同步误差的精度也能达到微米级别。这种方案具有较好的动态特性及鲁棒性,同步误差较小,有望满足高精度同步扫描的要求。
- 盛壮唐小萍胡松李兰兰谢飞李金龙徐锋
- 关键词：双直线电机模糊PID控制SIMULINK光刻
