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国家自然科学基金(61076100)

作品数：1 被引量：1H指数：1
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地区

  • 6个四川省
  • 1个西藏
共 7 条 记 录，以下是 1-7
李金龙
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 掩模 节流孔 六自由度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢飞
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：图像探测器 条纹 SIMULINK 衍射 分光镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐锋
供职机构：西南科技大学信息工程学院
研究主题：条纹 纳米光刻 图像探测器 光刻 投影光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
盛壮
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 图像探测器 条纹 工件台 投影光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李兰兰
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 图像探测器 投影物镜 条纹
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡松
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐小萍
供职机构：西藏自治区气候中心
研究主题：生物芯片 纳米光刻 掩模 光刻分辨力 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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