国家自然科学基金(50705051)
- 作品数：3 被引量：17H指数：1
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- 微探针纳米尺度振动测试的实验研究
- 2010年
- 微探针是扫描探针显微镜(SPM)的重要组成部件,其共振频率等振动特性直接影响系统的性能。给出了系统微探针共振频率的测试方法,对微探针在压电陶瓷驱动力作用下的受迫振动进行了有限元分析。提出了相位变化0.1°所对应的0.1nm位移分辨率的双频激光外差干涉光学测量系统,对微探针纳米尺度振动特性进行了测试对比实验,并对SPM标定样块进行了比对分析。实验结果验证了双频激光外差干涉测量方法的可行性和其应用价值。
- 林浩山李玉和王东生李庆祥刘梅
- 关键词：光学测量外差干涉
- 纳米尺度飞高测试的实验研究
- 近场存储技术是近年来最具发展潜力的信息存储技术之一,微飞行头与存储介质间的飞行高度测试成为高密度存储的关键。本文采用双波长多步法对飞高测试进行数学建模,利用遗传算法实现飞高测试的非线性光学方程组求解。同时,对复折射率的同...
- 祁鑫李玉和王亮林浩山童晓蕾胡小根
- 关键词：飞行高度
- 文献传递
- 压电驱动器迟滞建模与开环控制实验研究被引量：1
- 2010年
- 压电位移扫描技术可实现纳米级位移分辨率,但其迟滞现象会降低系统测量精度。该文依据大量实验现象中压电驱动器迟滞存在点对称性特征,建立了一种压电驱动器迟滞的数学模型。本模型由实验数据拟合上升主回线,再根据压电驱动器的点对称性,计算出其他上升或下降回线,同时得到其逆模型。利用逆模型对压电驱动器进行开环控制实验结果表明,实验系统控制误差范围为-36^+47 nm。
- 胡小根李玉和林浩山童晓蕾祁鑫
- 关键词：压电驱动器开环控制
- 超精表面三维形貌相移干涉检测实验研究被引量：16
- 2009年
- 超精表面检测技术已成为超精密测量技术重要组成部分。本文提出了一种超精表面三维形貌的相移干涉显微检测方法。检测系统引入偏振分光棱镜,建立相移检偏干涉与三维形貌重构模型,采用四帧相移与轮廓中线法进行相位与粗糙度参数计算。编制图像处理与系统测试软件,并对标准样品进行实验,结果表明:样品粗糙度重复测量精度达2.8nm,测试系统具有抗干扰能力强、稳定性好等特点。
- 童晓蕾李玉和林浩山祁鑫
- 关键词：相移干涉粗糙度三维形貌
