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国家自然科学基金(50705051)
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林浩山
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李玉和
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:柔性铰链 微装配 近场光存储 深亚微米 刻录机
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林浩山
供职机构:广西师范大学物理科学与技术学院
研究主题:外差干涉 光学测量 粗糙度 相移干涉 相移
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祁鑫
供职机构:清华大学
研究主题:测试技术 改进遗传算法 飞行高度 超精 测量方法
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童晓蕾
供职机构:清华大学
研究主题:粗糙度 相移干涉 相移 三维形貌 压电驱动器
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李庆祥
供职机构:清华大学机械工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室
研究主题:集成电路 柔性铰链 微装配 母盘 近场光存储
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胡小根
供职机构:清华大学
研究主题:测量系统 测量方法 光纤传感 光纤 位移测量系统
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王东生
供职机构:清华大学
研究主题:热释电 相移干涉术 压电双晶片 被动调Q 信号处理
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刘梅
供职机构:清华大学
研究主题:BP网络 BP神经网络 压电陶瓷 光学测量 控制技术
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