国家科技重大专项(2009ZX02207)
- 作品数：45 被引量：187H指数：8
- 相关作者：陈兴林魏凯刘川姜晓明王岩更多>>
- 相关机构：哈尔滨工业大学黑龙江大学中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程电气工程更多>>
- 基于迭代学习的掩模台与工件台同步控制被引量：2
- 2013年
- 针对光刻机掩模台与工件台在曝光扫描过程中必须保持运动同步的问题,提出了一种迭代学习同步控制方法.为提高系统的动态跟踪精度和带宽,采用以直线电机和音圈电机为执行器的宏微控制结构,建立了掩模台的动力学模型.提出的主从同步控制结构以工件台为主动系统、掩模台为从动系统,在常规反馈控制的基础上加入了同步控制器.根据迭代学习控制方法设计了二阶同步学习律,并证明了该学习律的收敛性.仿真结果表明同步学习算法可以明显地减小同步偏差,同步偏差的峰值和移动标准差随迭代次数的增加而不断减小,在50次迭代后分别减小了45.12%和36.84%.
- 武志鹏陈兴林王岩
- 关键词：迭代学习控制主从控制工件台
- 宏微驱动系统中的双回路迭代学习控制
- 针对宏微双机构驱动系统提出一种双回路迭代学习控制策略,首先对宏微运动系统的模型和宏微耦合因素进行分析,利用双回路宏微控制结构来减弱宏微系统的耦合影响.其次,在上述结构的基础上采用双回路迭代学习控制,分别对微动台误差和宏微...
- 姜晓明陈兴林
- 关键词：迭代学习控制收敛性
- 文献传递
- 基于ZPETC-FF和DOB的精密运动平台控制被引量：8
- 2014年
- 光刻机的工件台和掩模台采用长行程直线电机宏动跟随平面电机高精密微动的复合运动方式,实现系统高动态纳米级精度的跟踪定位.为减小平面电机的运动范围和加速度,必须提高直线电机精密运动平台的跟踪精度.提出一种零相位误差跟踪控制器加前馈(ZPETC-FF)和干扰观测器(DOB)相结合的复合控制方法,以提高直线电机宏动精密运动平台的运动精度.ZPETC-FF作为前馈跟踪控制器,有效提高了系统带宽和跟踪性能,减小了系统的动态跟踪误差;DOB作为鲁棒反馈控制器,补偿了外部扰动、未建模动态和系统参数摄动等,有效提高了系统的抗干扰能力.实验表明,所提出的控制方法与传统的控制方法相比,不仅提高了系统的动态跟踪性能,而且还具有更强的抗干扰能力.
- 陈兴林刘川周乃新王斌
- 关键词：光刻机工件台干扰观测器
- 精密运动平台宏微控制系统的设计被引量：9
- 2013年
- 基于高动态精密伺服运动双台系统模型提出一种非线性宏微控制方法。该方法采用长行程直线电机宏动跟随音圈电机高精密微动的驱动方式,并引入扩张状态观测器。系统在定位误差较大时,采用近似时间最优控制律的轻阻尼宏动台,以允许的最大速度快速响应,在接近目标位置后,再用采用复合非线性反馈控制律的重阻尼微动台来补偿宏动台超调引起的位置偏差,最终实现系统快速高精度的定位。通过扩张状态观测器观测系统的动态变化,补偿系统中的各种扰动,减小系统的稳态跟踪误差。研究结果表明:该方法改善系统的动态性能和抗干扰能力,提高系统的定位精度。
- 陈兴林刘川刘杨张旭王伟峰
- 关键词：直线电机音圈电机状态观测器非线性
- 鲁棒迭代学习控制律的优化设计方法被引量：5
- 2013年
- 针对非参数不确定性系统难以实施非因果学习控制的问题,提出一种鲁棒迭代学习控制律的优化设计方法。采用基于名义性能指标的优化设计方法,预留调整加权,并将其演变成频域描述下具有系统伪逆形式的迭代学习控制律。进一步建立μ分析下的系统框架,分析加权系数对系统收敛速度和鲁棒性的影响。根据上述分析来确定初始的加权系数,并采用零相位滤波器和μ分析来修正加权,使系统满足鲁棒收敛性条件,从而得到优化的鲁棒迭代学习控制律。文中附有算例,将时域设计应用到频域分析框架,可以实现非因果稳定系统的鲁棒收敛性分析,仿真结果验证了方法的有效性。
- 姜晓明王岩陈兴林
- 关键词：鲁棒迭代学习控制Μ分析优化设计
- 步进扫描光刻机加速时间段的S曲线规化被引量：2
- 2012年
- 为提高步进扫描式光刻机的生产效率,提出了一种具有时间最优和冲击最小的5阶S曲线。在最大扫描速度恒定的前提下,以最小时间和冲击为优化指标,设计了加速时间段内的5阶S曲线。在优化指标冲击力项中引入了可变参数,可以根据加速时间和执行电机进行调整,在光刻机设备允许的范围内缩短加速时间。仿真结果表明,相对于数值方法设计的S曲线,优化S曲线加速时间明显缩短并且加速度曲线平滑。冲击力项系数对加速时间和S曲线的平滑性有很大影响。
- 武志鹏陈兴林郝中洋
- 关键词：S曲线
- 考虑输入饱和的离散最优积分滑模控制被引量：3
- 2016年
- 针对含有匹配有界干扰的线性离散系统,提出一类最优积分滑模控制算法.在系统开环极点位于单位圆内(上)的前提下,考虑输入饱和,可以实现系统状态的半全局稳定.该算法是低增益反馈和积分滑模的有益结合,通过低增益反馈使输入饱和得到满足,通过滑模控制增强了系统对干扰的鲁棒性;另外,该算法可以使特定的性能指标达到最优,使系统稳态误差达到O(T^2)的量级.仿真结果验证了所提出算法的有效性.
- 李理刘杨陈兴林
- 基于ZPET-FF和ESO的直线伺服鲁棒跟踪控制被引量：2
- 2014年
- 提出一种将零相位误差跟踪和前馈(ZPET-FF)与扩张状态观测器(ESO)相结合的重复控制方法,以提高宏动台直线电机伺服系统的跟踪性能.以ZPET-FF作为前馈跟踪控制器,将信号估计器估计的跟踪误差和系统的实时误差作为其输入信号,将控制器对系统的跟踪误差进行实时补偿,以降低参数变化对系统的影响,有效提高系统的带宽和跟踪性能,减小系统的动态跟踪误差;采用ESO补偿系统中的各种扰动抑制噪声,以提高系统的抗干扰能力.实验结果表明,所提出的控制方法不仅提高了系统的动态跟踪性能,而且减小了系统的跟踪误差.
- 陈兴林刘川周乃新王斌
- 关键词：工件台扩张状态观测器
- 不确定性系统的非因果鲁棒学习控制被引量：1
- 2014年
- 针对不确定性系统提出一种非因果鲁棒学习控制方法.该学习控制律的非因果学习部分通过标称系统的优化指标得到,鲁棒部分通过设计鲁棒加权来实现.首先,不考虑鲁棒部分的具体形式,推导出标称系统描述的学习控制律的鲁棒收敛性条件;然后,设计与系统不确定性相关的鲁棒加权,由鲁棒收敛性条件得到鲁棒加权的设计原则;最后,通过仿真实验验证了所提出方法的有效性,并分析了不同形式不确定性系统鲁棒设计的保守性.
- 姜晓明陈兴林
- 基于FPGA的从设备VME总线接口设计被引量：3
- 2016年
- VME总线因其实时性强、可靠性高等特点,使得其在工业控制中得到了广泛的应用。由于FPGA采用硬件并行进行逻辑运算,使其具有很高的运行效率。再加上它丰富的I/O口和简易的编程语言等特点,在工控领域应用十分广泛。使用VME总线接口芯片进行设计,会使得系统复杂、灵活性低,而且有时不能满足复杂的控制要求。本文介绍一种利用FPGA实现VME总线通信协议的方法。利用FPGA的灵活性和稳定性,实现从设备的VME总线接口设计。
- 万勇利魏凯韩记晓陈兴林
- 关键词：VME总线协议从设备接口
