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国家科技重大专项(2009ZX02207)

作品数：45 被引量：185H指数：8
相关作者：陈兴林魏凯刘川姜晓明王岩更多>>
相关机构：哈尔滨工业大学黑龙江大学中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程电气工程更多>>

领域

  • 33个自动化与计算...
  • 21个电子电信
  • 14个航空宇航科学...
  • 10个机械工程
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  • 7个一般工业技术
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  • 5个交通运输工程
  • 5个核科学技术
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  • 4个建筑科学
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  • 3个化学工程
  • 2个冶金工程
  • 2个动力工程及工...
  • 2个轻工技术与工...
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主题

  • 27个光刻
  • 27个光刻机
  • 22个电机
  • 21个工件台
  • 17个总线
  • 16个通信
  • 16个感器
  • 16个传感
  • 16个传感器
  • 15个运动控制
  • 15个系统设计
  • 14个掩模
  • 13个直线电机
  • 13个伺服
  • 13个同步控制
  • 11个运动控制卡
  • 10个音圈电机
  • 6个电机控制
  • 6个电机系统
  • 6个电路

机构

  • 34个哈尔滨工业大...
  • 1个北京空间机电...
  • 1个电子科技大学
  • 1个东北师范大学
  • 1个聊城大学
  • 1个黑龙江大学
  • 1个首都师范大学
  • 1个燕山大学
  • 1个武汉理工大学
  • 1个中国建筑科学...
  • 1个中国科学院长...
  • 1个建研科技股份...

资助

  • 34个国家科技重大...
  • 14个国家自然科学...
  • 6个国家重点基础...
  • 5个国家高技术研...
  • 5个黑龙江省科技...
  • 4个黑龙江省博士...
  • 3个山东省自然科...
  • 3个哈尔滨工业大...
  • 3个航天支撑技术...
  • 3个中央高校基本...
  • 2个黑龙江省自然...
  • 2个黑龙江省青年...
  • 2个空间智能控制...
  • 1个北京市自然科...
  • 1个国防基础科研...
  • 1个国防科技工业...
  • 1个国防科技技术...
  • 1个国家科技支撑...
  • 1个哈尔滨工业大...
  • 1个哈尔滨工业大...

传媒

  • 16个自动化技术与...
  • 10个哈尔滨工业大...
  • 10个自动化与仪表
  • 9个电机与控制学...
  • 6个光学精密工程
  • 6个自动化仪表
  • 6个控制与决策
  • 6个中南大学学报...
  • 5个仪器仪表学报
  • 5个国防科技大学...
  • 5个计算机科学
  • 4个宇航学报
  • 4个华中科技大学...
  • 4个上海交通大学...
  • 4个控制理论与应...
  • 4个电工技术学报
  • 4个航空学报
  • 3个系统工程与电...
  • 3个红外与激光工...
  • 3个哈尔滨理工大...

地区

  • 30个黑龙江省
  • 2个北京市
  • 1个吉林省
  • 1个山东省
共 34 条 记 录，以下是 1-10
陈兴林
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：光刻机 工件台 神经网络 物理仿真 微分对策
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魏凯
供职机构：哈尔滨工业大学航天学院
研究主题：光刻机 工件台 VXWORKS 同步控制 运动控制卡
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘川
供职机构：哈尔滨工业大学航天学院
研究主题：工件台 光刻机 直线电机 高动态 自抗扰
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姜晓明
供职机构：哈尔滨工业大学航天学院
研究主题：迭代学习控制 因果 光刻系统 Μ综合 Μ分析
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王岩
供职机构：聊城大学
研究主题：光通信 卫星光通信 有机氯农药 现场总线 耕地土壤
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张常江
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：光刻机 工件台 运动控制卡 双口RAM 系统初始化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
武志鹏
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：光刻机 工件台 同步控制 S曲线 主从控制
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
范文超
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：光刻机 伺服机构 垂向 线性电机 物理仿真
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘杨
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：超精密 光刻机 工件台 物理仿真 气浮
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘洋
供职机构：哈尔滨工业大学航天学院
研究主题：光刻机 工件台 系统设计 DSP CMOS图像传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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