国家自然科学基金(50475085)
- 作品数：1 被引量：6H指数：1
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- 微机械轮式陀螺仪的结构分析
- 以轮式陀螺仪为研究对象,利用有限元方法分析了主要结构尺寸对其固有频率的影响。根据驱动模态和敏感模态的频率匹配,优化了陀螺的结构尺寸;通过谐响应分析确定了频率和振幅的关系,为结构设计和制备工艺提供了理论指导。
- 郭宏宾赵玉龙蒋庄德
- 关键词：微机电系统硅微机械陀螺有限元方法谐响应分析
- 文献传递
- 柔性机构尺寸与形状优化新方法及实现
- 针对 MEMS 复杂器件优化困难的问题,提出了一种柔性机构尺寸与形状优化的新方法。该方法采用遗传算法（GA）与有限元方法（FE）联合的优化策略,用 MATLAB 软件作为“调度员”,将 ANSYS 与 MATLAB 自带...
- 刘旭高建忠赵玉龙蒋庄德
- 关键词：微机电系统有限元法遗传算法
- 文献传递
- 一种集成式多参数硅微传感器被引量：6
- 2006年
- 为了实现小体积多参数的测量,提出一种单片集成多功能传感器。该传感器包括压力、温度和湿度传感器。各部分分别基于半导体压阻效应、电阻迁移率变化、极板间电容变化为原理制作而成。该传感器采用n型(100)基底,利用体硅和面硅工艺加工而成。测量电阻通过离子注入B+形成扩散电阻。为减小各参数间的相互影响,压力传感器的测量电阻布置于[110]晶向,测温电阻沿[100]晶向布置。温度输出信号可以实现对传感器中压力输出时温度漂移的精确补偿。芯片大小为5mm×5mm。试验表明传感器具有良好的线性,小迟滞,较高的灵敏度。
- 周建发赵玉龙苑国英蒋庄德
- 关键词：压力传感器扩散湿度传感器集成传感器
