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国家自然科学基金(50475085)
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蒋庄德
苑国英
赵玉龙
周建发
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周建发
供职机构:航天长征火箭技术有限公司
研究主题:MEMS 微细加工 湿法腐蚀 谐振梁 传感器芯片
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苑国英
供职机构:西安交通大学
研究主题:传感器芯片 敏感元件 亚表面 惠斯通电桥 耐高温
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蒋庄德
供职机构:西安交通大学
研究主题:传感器芯片 电极 传感器 芯片 压阻
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赵玉龙
供职机构:西安交通大学
研究主题:传感器芯片 MEMS 传感器 硅 芯片
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